拓荆科技新获得发明专利授权：“一种加热盘结构”

专利摘要：本发明提供了一种加热盘结构，包括基座，开设有通气孔；底盘，设于所述基座，所述底盘设有与所述通气孔导通的接气孔，所述底盘远离所述基座的表面设有气流通道，所述气流通道与所述接气孔导通；驱动器，具有旋转部和伸缩部，所述旋转部可旋转的设于所述底盘，所述旋转部可带动所述伸缩部旋转；顶盘，盖合所述底盘形成气腔，所述顶盘对应所述气流通道设有若干排气孔；遮挡杆，设于所述气腔内与所述伸缩部连接，所述遮挡杆可遮挡部分所述排气孔。本发明可调节加热盘表面的温度，使加热盘表面的温度均匀，提高在晶圆上沉积薄膜时的均匀性。

今年以来拓荆科技新获得专利授权72个，较去年同期增加了125%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.1亿元，同比增78.77%。

数据来源：企查查

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