国林科技：半导体级臭氧设备量产在即加速国产替代

　　国林科技(300786.SZ)作为国内大型臭氧系统设备龙头，掌握臭氧系统设备的全套核心技术，产品涵盖全系列臭氧发生器及其系统设备，广泛应用于市政给水、工业废水、烟气脱硝、市政污水、空间消毒等。

　　据年报信息，近年来国林科技围绕臭氧工艺积极进行下游多元化延伸，致力于打造臭氧领域综合解决方案供应商。医疗健康领域，子公司国林健康成功研发电解水式臭氧发生器，部分健康品类产品的市场推广正顺利推进;半导体领域，公司系列产品已在多家下游头部客户中顺利验证;同时乙醛酸业务即将进入正式生产阶段，市场拓展也正顺利进行，未来下游多点开花有望打开成长空间。

　　在半导体领域，国林科技持续研发近5年，已成功生产出高浓度臭氧水发生器和高浓度臭氧气体发生器两种产品，分别应用于半导体清洗和薄膜沉积环节。公开资料显示，当前我国半导体臭氧设备市场主要被美国MKS及德国安索罗斯等海外厂商占据，国内尚无量产企业。据公开披露，国林科技生产的半导体臭氧水发生器的臭氧水浓度可达80-150PPm，臭氧气体发生器出气浓度可达200-300mg/L，能够满足半导体工艺需求，同时已取得相应专利，产品性能已基本对标海外厂商。

　　根据公司公开交流，国林科技半导体专用臭氧设备已于2022年下半年送样下游半导体清洗设备、薄膜沉积设备头部企业及部分面板厂等，当前产品正顺利验证中，预计将于2024年实现小批量供货，半导体级臭氧设备国产替代进程可期。